正確地識別X 熒光能譜中各種譜峰的性質是進行準確定性和定量分析的前提,本文闡述了能量刻度的方法、元素譜峰的重迭干擾及偽峰的識別等問題。 在對樣品能譜進行解析之前,首先必須建立一個準確的能量刻度標尺,本文通常選擇高溫合金鋼譜圖中多種輕重元素的Kα峰進行能量刻度,以保證整個能譜范圍的標定比較準確。由于放大器增益改變等因素的影響,能量刻度的對應關系也會發生變化,這對重新測量的標樣譜相對舊標尺會出現“錯位”(譜圖漂移) ,解決的方法是定期用新測量的標樣譜重新進行刻度或者改變放大器增益直至標樣譜“復位”。 

實際譜圖的解析往往相當復雜,實踐中還常采用下述方法進行綜合分析: 
(1) 改變工作電壓以觀察其他譜區,特別是高能端的元素相關譜線。 
(2) 利用標樣譜圖作參考和比較。 
(3) 與其他檢測手段相互配合、取長補短。